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半导体电阻式传感器测试

半导体电阻式传感器特性分析解决方案

半导体电阻式传感器
电阻值反应灵敏度
电阻测量
I-V曲线扫描
R-t曲线

利用源表SMU可以灵活的进行电阻测量

I-V测试是对待测器件(DUT)施加电压或电流，然后测试其对激励做出的响应。根据待测器件(DUT)的不同，信号电平可能相当低，需要高灵敏度源和测量仪器及测试技术，最大限度地减少误差的外部来源，而且需要有快的测试速度和高的测试可靠性做保证。

半导体电阻式传感器I-V特性测试传统需要几台仪器完成，如数字表、电压源、电流源等。然而，由数台仪器组成的系统需要分别进行编程、同步、连接、测量和分析，过程既复杂又耗时，还占用过多测试台的空间。而且，使用单一功能的测试仪器和激励源还存在复杂的相互间触发操作，有更大的不确定度及更慢的总线传输速度等缺点。

实施I-V特性分析的最佳工具之一是数字源表(SMU)。数字源表作为独立的恒压源或恒流源、伏特计、安培计和欧姆表，还可用作精密电子负载。其高性能架构还允许将其用作脉冲发生器，波形发生器和自动电流-电压(I-V)特性分析系统，支持四象限工作。

实时测试多种材料在同一环境条件下的电阻值的反应灵敏度；
在低电压下进行高范围跨度(Ω、KΩ、MΩ、GΩ)的电阻测量，
测试设备输入电阻要求高；
I-V 曲线扫描；
上位机实时显示各不同电阻传感器 R-t 曲线，并可记录存档。

方案一

基于S系列高精度数字源表+上位机软件构建多通道测试

S100数字源表是普赛斯历时多年打造的高精度、大动态范围、率先国产化的源表，集电压、电流的输入输出及测量等功能于一体，电压范围从300uV~30V,电流从100pA~1A，输出精度达0.1%，最大功率可达30W，能够覆盖0~50GQ之间电阻值的传感器测量。

方案二

CS1010C+CS100/CS400插卡式源表+上位机软件构建多通道测试

该方案主要采用普赛斯插卡式设备(CS1010主机+CS100子卡或者CS1010主机+CS400子卡)组建多通道测试方案，具有通道密度高、同步触发功能强多设备组合效率高等特点。

CS1010C主机：采用自定义框架，背板总线带宽高达3Gbps，支持16路触发总线，满足多卡设备高速率通信的需求,拥有最高容纳10子卡的插槽

CS100子卡：为单卡单通道子卡，具备四象限工作能力，最大电压30V，最小电流100pA，输出精度达到0.1%，最大功率为30W:配合CS1010主机最多能搭建10个测试通道，能够覆盖0~50GQ之间电阻值的传感器测量。

CS400子卡：为单卡四通道子卡，卡内4通道共地，最大电压10V，最小电流10nA，输出精度达到0.1%，单通道最大功率2W;配合CS1010主机最多能搭建40个测试通道，能够覆盖0~25MQ之间电阻值的传感器测量。

方案三

CS1010C+A400采集卡+S100/CS100+上位机软件构建多通道测试

该方案主要由1台CS1010主机、多张A400采集卡、1台S100或者1张CS100子卡组成。A400采集精密电阻(R1)两端的电压值，所有测试通道采用并联方式统一由S100/CS100进行供电。

A400数据采集卡：普赛斯自主设计开发，支持可变速率采样和大容量数据存储的高精度数据采集卡:使用高性能ADC芯片,分辨率可达16bits:最高支持2MS/s采样率，输入阻抗高达1GQ。单采集卡支持4通道，且通道间隔离;配合CS1010主机最多能搭建40个测试通道，精密电阻R1的阻值根据被测物的阻抗范围来选取，选取的原则是二者的阻值尽量相近。

半导体电阻式传感器测试

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