MEMS系统测试
微机电系统MEMS测试简介
MEMS简介:
MEMS(微机电系统)是一种基于CMOS工艺的集成技术。它将传感器/微处理器/信号处理与控制集于一体，有效缩小了系统的体积，是一种先进的加工技术。
MEMS测试难点:
1.泄露电流是MEMS的必测项目。泄漏电流是指MENS在非工作状态时的电流值，其值大小将决定系统能耗的大小。MEMS系统的泄漏电流一般都小至pA量级，因此在测试泄电流时，需要带前置放大器的高精度的源表设备。
2.电容是MEMS的必测项。电容式微传感器是MEMS系统中常用的传感器，它负责接收外界的信号并转换为电学信号。这个电容值很小，一般为pF量级。测试设备所能施加的交流频率和电容测量的精度是需要考虑的因素。
3.电阻是MEMS的必测项。电阻式传感器在MEMS系统中非常常见3.，其阻值的变化可以表征外界信号的变化。MEMS系统中的电阻范围较大，因此测试设备的电压电流动态范围也必须足够大。4.MEMES工艺监控也是MEMS测试的重要内容。MEMS使用CMOS工艺进行加工制造，为使系统性能稳定，各步骤工艺必须严格监测。比如载流子浓度，载流子迁移率都能都是需要监测的参数。这需要使用能进行此类测试的电学设备。
测试方案:
测试设备:4200A-SCS，SMU模块+CVU模块
测试载台:高功率探针台/测试夹具
优势
1.集成化的测试系统，直流测试/CV测试集于一体，多卡槽灵活配置测试模块;四线法配置;1pF-1uF电容测试量程:
2.最小电流测试精度10fA，最大电压210V;
3.自带Clarus操作软件，图形化设计，简单易懂;丰富的测试库直接用，减少测试配置时间;
4.附带教学视频，多语言版本，边学边用;5.多种切换开关，支持SMU/CVU的自动切换，消除换线烦恼;
6.提供低漏电矩阵开关，为自动化，高密度，大批量测试提供支持;
7.开放设备底层指令，附带编译软件，支持自编程。
测试参数:
MEMS输出电容
CMEMS输出电阻R
MEMS泄露电流I
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