主要性能指标
I-V 源测量单元 (SMU)
● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
● 100 fA 测量分辨率
● 选配前端放大器提供了 10 aA 测量分辨率
● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
● 100 mF 负载电容
● 四象限操作
● 2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元 (CVU)
● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
● 1 kHz - 10 MHz 频率范围
● ± 30 V (60 V 差分 ) 内置 DC 偏置源，可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )
● 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换
脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)
● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
● 200 MSa/s，5 ns 采样率
● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
● 瞬态波形捕获模式
● 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元 (PGU)
● 两个高速脉冲电压源通道
● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
● 任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
● 把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针
● 支持 ±210 V DC 偏置源
远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)
● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安
● 降低电缆电容效应
